unita ta' eskpożizzjoni bil-vakuum
Unita ta' eżposizzjoni b'vakuum hija peċja sofiġata ta' eqwipament iżžejgħa fil-proċess ta' fotolitografija, u tista' tkun utliżata prinċipalmenti fit-twelprodazzjoni tal-bordji maħluqa (PCB) u f'applikazzjonijiet oħrajn indostriali. Is-sistema avanzat jikkombina l-eżposizzjoni preċiża tal-niġra mal-teknoloġija tal-vakuum biex jagħmlu sigurt li jkun hemm kontatt optiku bejn l-film tal-aġġornament u s-superfiji fotossensitiva. L-unita tifforza sors ta' niġra UV ta' intenzità għolija, tipikament utenti LED jew lampi tal-ħin tal-merkurju, li tirriżulta fi ħaddienza u fomma konstanti wara Kulma l-erja tal-eżposizzjoni. Is-sistema tal-vakuum jiktieb sigurt li jkun hemm sigill mhuwiex imbutti bejn l-aġġornament u is-sobbstratu, li jmiss air gaps li jistgħu jkompromissu l-kwalità tal-immaġini. Il-paNel digital ta' kontrol tal-unita jippermetti li l-operaturajjustjaw preċiżiment l-tempi ta' eżposizzjoni, il-prezzju tal-vakuum u l-intensità tal-niġra, biex jagħmlu sigurt li riżultati ripetibbli. Unitaj moderni ta' eżposizzjoni vakuum jinkorporaw normalment featuri kif settjar ta' memoria prograbbili, il-kalkulazzjoni awtomatika tal-eżposizzjoni u sistemi ta' raħla integrati biex jagħmlu sigurt li jkunu temppj operattivi optiku. L-eqqupament robust tipikament jinkludi struttura gravi, kamera ta' eżposizzjoni xhara min-il-niġra u interlokks ta' sigurtà biex ipproteġi l-operaturi min ir-radiazzjoni UV. Dawn l-unitaj huma disponibli fl-varjetaj tagħmir biex jiċċompatibu bil-ħtieġa produttivji differenti, mill-prototipar fuq formati żgħar għall-produzzjoni kbir skala.